工業(yè)氣體包含氧氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、乙炔等常規(guī)氣體，氖、氦、氪、氙、氧化亞dan等稀有氣體及其它特種氣體?？辗盅b置是用來把空氣中的各種組份氣體分離，生產(chǎn)氧氣、氮氣等工業(yè)氣體的一套工業(yè)設備，應用于冶金、石油化工、煤化工、玻璃、半導體、航天、核應用等行業(yè)。

標準《ＧＢＴ１４５９９－２００８　純氧、高純氧和超純氧》、《ＧＢＴ８９７９－２００８　純氮、高純氮和超純氮》、《ＧＢＴ?。矗福矗矗玻埃保薄〖兒?、高純氦和超純氦》等國家標準的出臺對空分行業(yè)氣體監(jiān)測提出了嚴格的要求。

隨著空分行業(yè)對生產(chǎn)效率以及安全生產(chǎn)及產(chǎn)出質(zhì)量的愈加重視，氣體分析儀（以下簡稱分析儀）在空分行業(yè)越來越多的得到了應用（如下圖為空分制備工藝流程在各點位所需用到的不同氣體分析儀器類型）。如何使用和維護好分析儀可以說是空分行業(yè)質(zhì)量監(jiān)控與安全防范的重要工作之一。但由于分析原理以及生產(chǎn)廠家的不同，導致分析儀的使用與維護具有一定的系統(tǒng)性與復雜性，本文就分析儀的使用進行一定的闡述。

０１

分析儀的量值傳遞

標準氣屬于計量標準物質(zhì)范疇，其組分濃度具有很好的均勻性、準確性和穩(wěn)定性，其等級分為二種，標準氣體和二級標準氣體。二級標準氣體準確性和均勻性未達到一級標準氣體的水平，但能滿足一般測量需要，穩(wěn)定性在半年以上，一般的氣體生產(chǎn)廠家均會購置，編號為ＧＢＷ（Ｅ）ＸＸＸＸＸＸ（Ｘ代表阿拉伯數(shù)字）。

無論是一級還是二級標準氣體，在使用過程當中（即儀器校正）都需要注意一些問題，否則，哪怕標準氣級別再高，準確性再強也無法真正達到量值傳遞的目的，因此建議做到以下幾點：

０２

分析儀的測量精確度與測量量程

測量量程—簡稱量程，是指儀器所能測得的上下限所限定的一個量的區(qū)間，例如８０～１００％。測量精確度又稱準確度是指在一定條件下，多次測得的平均值與真值相符合的程度，是表示分析儀的指示值與真值相符合的能力，其一般使用相對誤差來表示。即：＆ｐｌｕｓｍｎ；％Ｆ．Ｓ表示（Ｆ．Ｓ指量程范圍）。由此可見，當量程設置越寬時，其測量誤差則越大，精確性越低。因此，要想保證分析儀的精確性，必須合理地設置測量量程。

而量程的設置又會影響到分析儀校正點的選取，應綜合考慮，不能一概而論，但一般量程范圍應包含工藝正常波動的范圍以及儀器的校正點。有些分析儀在超出量程設置時仍能指示讀數(shù)，而此時所顯示的數(shù)據(jù)因偏離了測量的線性范圍，數(shù)據(jù)的精度卻得不到保證，因此此時數(shù)據(jù)變化的趨勢往往大于數(shù)據(jù)量值的意義。而在線性范圍內(nèi)（校正點之間），數(shù)據(jù)的量值才有一定的保證。

遵循測量原理的共性與儀器個性的統(tǒng)一

由于一種分析原理可以檢測多種氣體成分，而一種樣氣分析又可以使用多種原理進行檢測，甚至有些分析儀自成一體，本身就是一個完整的系統(tǒng)。因此單個的分析儀器都具有其自身性，必須以此為基礎來進行使用和維護。當然，同一種測量原理或同一類型的分析儀，其之間也具有一定的共性原則，也應充分地予以考慮，例如：

１）任何磁式、熱導、紅外分析儀都對系統(tǒng)內(nèi)溫度較為敏感。任何種類的熱磁式氧分析儀對樣氣流量都特別敏感，而磁力機械式氧分析儀則對系統(tǒng)內(nèi)壓力特別敏感。
　?。玻┤魏卧姵厥窖醴治鰞x，無論是常量型還是微量型不管儀器是否通電，只要傳感器內(nèi)有氧存在，其化學反應都能進行，也就存在一定的損耗。
　?。常o論何種微量氣體分析儀器，在超出測量量程或停機狀態(tài)時，都應進行密封或通入合適的氣體對傳感器進行保護。
　?。矗┤魏畏N類的紅外、磁式、熱導、等離子化的分析儀都對水分、粉塵較為敏感。

０４

總　結(jié)

我們的產(chǎn)品